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[发布] 超精密车床如何加工粗糙度10nm的硅片?

楼主
发表于 2018/3/12 9:58:55 | 只看该作者
加工400x2mm的硅片,粗糙度达到10nm的加工流程,夹具选择以及刀具选择。
1 楼
发表于 2018/5/15 | 只看该作者

我做硅片研磨的 有点常识的人都知道机械加工中 研磨可以达到的粗糙度比车削高至少一个数量级

以我做过的实验来看 研磨后的表面粗糙度最好达到了38nm 那些做芯片的硅片通常更好 但是都要经过化学清洗 不止一次的清洗 还要激光法恶测量
要车硅片 刀具一般用金刚石 但是 亲啊 金刚石也会磨损啊 受力疲劳也会磨损 金刚石刀具很贵的好吗
你说的400平方毫米的面上要车出来10nm的粗糙度来 我就问你 得多大的刀具啊  这么大的面积你的平面度怎么保证?
且不说车床本身的精度问题 机械加工会产生热量 热量会导致材料膨胀 刀尖和材料都会发生伸缩 以我的看法 现在车不出来 如果能车出来 就不用国内的军工眼巴巴望着东芝那些军用车床了 核潜艇叶片对车床要求很高 你懂的


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