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ASML表态:DUV可以!EUV不行!

当地时间10月14日,半导体巨头、全球光刻机领头企业ASML首席财务官罗杰·达森(Roger Dassen),对向中国出口光刻机的问题作出了表态。他表示,ASML可以从荷兰向中国出口DUV(深紫外)光刻机,无需美国许可。


但,大家都懂。DUV光刻机非ASML最先进的产品。10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。中芯国际的7nm(N 1工艺),并非国际公认的7nm,更类似与台积电10nm,使用DUV光刻机制造。


据了解,EUV光刻机不需要多重曝光,一次就能曝出想要的精细图形,没有超纯水和晶圆接触,在产品生产周期、光学邻近效应矫正的复杂程度、工艺控制、良率等方面都有明显优势。


当天,ASML发布了其2020年第三季度财报,达森也一同接受了视频采访。当被问及美国的半导体出口禁令对ASML的业务有何种影响时,达森回应称,他们注意到了美方的禁令,也意识到了禁令对中国客户的影响。


随后达森对ASML的光刻机出口问题作出了解释,他说:“如果要解释一下美国的规定对ASML有什么影响的话,对于的中国客户,我们还是可以直接从荷兰向他们出口DUV光刻机,无需任何出口许可。”但他随后也补充称,如果相关系统或零件是从美国出口的,那这些设备仍然需要得到美方的许可。

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采访视频截图

达森表示,ASML将尽最大努力,尽可能为所有客户继续提供服务和支持。


根据公开的财报电话会议录音,ASML首席执行官彼得·韦尼克(Peter Wennink)也在会议上确认了这一点。韦尼克称,根据当前美国的规定,直接从荷兰向中国出口的DUV光刻机不受影响。


但达森和韦尼克都强调的是DUV光刻机出口,并未提到更先进的EUV(极紫外)光刻机。彭博社14日在报道中也强调,DUV的规则不适用于EUV光刻机。ASML必须获得许可证才有可能向中国企业出口EUV光刻机。但荷兰政府已经暂缓了EUV光刻机出口许可,一直到现在都没有批准。

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“尽管被夹在中美之间,ASML仍积极努力”,彭博社报道截图


根据ASML发布的财报,2020年第三季度ASML光刻机净销售额达31亿欧元,中国大陆市场的营收占到21%。第三季度ASML总计净销售额达到约40亿欧元,净收入近11亿欧元。值得一提的是,EUV光刻机的收入占比极高,贡献了66%的光刻机销售额。


今年5月,ASML与无锡高新区签署了战略合作协议,在无锡高新区内扩建升级阿斯麦光刻设备技术服务(无锡)基地。此前,ASML已在北京、上海、深圳、无锡等地开设分公司,为客户提供服务和咨询,其中深圳是其在亚洲最大的软件研发中心。

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